一、壓電加速度傳感器的原理與特色
壓電加速度傳感器又稱(chēng)壓電加速度計,屬于慣性式傳感器。壓電式傳感器是運用繃簧質(zhì)量系統原理,靈敏芯體質(zhì)量受振動(dòng)加速度作用后發(fā)生一個(gè)與加速度成正比的力,壓電材料受此力作用后沿其表面形成與這一力成正比的電荷信號。壓電加速度傳感器具有動(dòng)態(tài)規模大、頻率規模寬、堅固耐用、受外界攪擾小以及壓電資料受力自發(fā)生電荷信號不需要任he外界電源等特色,是廣泛運用的振動(dòng)測量傳感器。
二、壓電加速度傳感器常用的壓電材料
壓電資料一般能夠分為壓電晶體和壓電陶瓷。在壓電式加速度計的z常用的壓電晶體為石英,其特色為工作溫度規模寬、功能安穩,因而,在實(shí)際使用中經(jīng)常被用作標準傳感器的壓電資料。因為石英的壓電系數比其他壓電資料低得多,因而對通用型壓電加速度計而言更為常用的壓電資料為壓電陶瓷。壓電陶瓷中鋯鈦酸鉛(PZT)是目前壓電加速度計中z常運用的壓電資料,其特色為具有較高的壓電系數和居里點(diǎn),各項機電參數隨溫度時(shí)刻等外界條件的變化相對較小。
三、壓電加速度傳感器的靈敏芯體的結構形式
壓電加速度傳感器的靈敏芯體一般由壓電資料和附加質(zhì)量塊組成,當質(zhì)量塊受到加速度作用后便轉換成一個(gè)與加速度成正比并加載到壓電材料上的力,而壓電資料受力后在其表面發(fā)生一個(gè)與加速度成正比的電荷信號。壓電資料的特性決定了作用力能夠是受正應力也能夠是剪應力,壓電資料發(fā)生的電荷巨細隨作用力的方向以及電荷引出表面的方位而變。依據壓電資料不同的受力方法,常用傳感器靈敏芯體的結構一般有緊縮、剪切、彎曲變形梁3種形式。
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